隸屬于無錫先導(dǎo)集團(tuán)的江蘇微導(dǎo)納米裝備科技有限公司，致力于為國內(nèi)外的高科技行業(yè)提供最新最可靠的生產(chǎn)設(shè)備和解決方案。其中專門為新型高效太陽能電池的表面鈍化所開發(fā)的原子層沉積（ALD）技術(shù)，在不到一年的時間內(nèi)就完成了從技術(shù)評估、設(shè)計定案、機械和工藝驗證，直到完成最終的客戶應(yīng)用評估等工作，并于今年2月份在客戶端獲得了超21%的平均轉(zhuǎn)化效率。另外，專門為解決金剛線多晶制絨難問題所開發(fā)的反應(yīng)離子刻蝕（RIE）技術(shù)，于今年3月份在客戶現(xiàn)場實現(xiàn)第一片實驗片反射率做到10%以下，首次金剛線多晶2800片實驗平均效率做到19%以上，最高19.41%的好成績。

在N型雙面電池的鈍化工藝上耕耘了近一年時間以后，江蘇微導(dǎo)的原子層沉積設(shè)備終于完善了批量生產(chǎn)的各項指標(biāo)，進(jìn)入到了大規(guī)模量產(chǎn)的階段。截至八月,微導(dǎo)已開始交付第一批10臺以上訂單為客戶進(jìn)行生產(chǎn)。同時，微導(dǎo)的雙面鈍化技術(shù)也引起了PERC市場的強烈關(guān)注，已有多家國內(nèi)知名的光伏企業(yè)在使用微導(dǎo)的原子層沉積設(shè)備嘗試雙面鈍化的工藝路線，并在很短的時間內(nèi)就在PERC電池上達(dá)到了668mV的平均開路電壓和高于21.5%的平均光電轉(zhuǎn)換效率。目前，PERC電池雙面氧化鋁鈍化的工藝路線已經(jīng)完全走通，相信在接下來的幾個月內(nèi)就能達(dá)到批量的生產(chǎn)規(guī)模，為高效電池的生產(chǎn)注入一份新的動力。

使用江蘇微導(dǎo)的原子層沉積設(shè)備制備的氧化鋁薄膜有著異于尋常的鈍化特性，在不同的電池結(jié)構(gòu)上都達(dá)到了遠(yuǎn)低于市場同類鈍化設(shè)備薄膜厚度的表面鈍化效果。在４納米的厚度上依舊可以保持6x1012cm-2的負(fù)電荷密度，在1.5-4納米的范圍內(nèi)都可以獲得664mV以上的開路電壓，充分顯示了原子層沉積技術(shù)的優(yōu)勢，減少了三甲基鋁源的耗量，為客戶節(jié)省了大量成本。江蘇微導(dǎo)也在機械設(shè)計和工藝調(diào)試上狠下功夫，達(dá)到了單面鍍膜實際產(chǎn)能超過6000片/小時和雙面鍍膜產(chǎn)能4000片/小時的目標(biāo)，而且與主設(shè)備匹配的自動化上下料系統(tǒng)可以在單面鍍膜和雙面鍍膜兩種模式間自由轉(zhuǎn)換，真正滿足不同客戶的需求。

據(jù)悉，江蘇微導(dǎo)目前已著手開發(fā)下一代產(chǎn)品，力求達(dá)到單位面積產(chǎn)能第一的目標(biāo)。同時，在原子層沉積技術(shù)上將攜手新南威爾士大學(xué)一起開發(fā)選擇性接觸（carrierivecontact）材料用于新一代的電池技術(shù)。微導(dǎo)自主知識產(chǎn)權(quán)的原子層沉積技術(shù)顛覆了沉積速度慢的傳統(tǒng)觀念，實現(xiàn)了太陽能晶硅電池的大批量生產(chǎn)。這不僅僅超越了絕大多數(shù)晶硅電池工藝設(shè)備的產(chǎn)能瓶頸，也是原子層沉積技術(shù)實現(xiàn)真正意義上的大批量生產(chǎn)的重大突破，達(dá)到國際領(lǐng)先水平。


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